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정권범 교수, 삼성미래기술육성사업 수주

<초고PPI 디스플레이향 트랜지스터 소자의 In-line 모니터링을 위한 결함 이미징 기술 개발에 관한 연구> 진행

 

동국대(총장 윤성이)는 물리반도체과학부 정권범 교수팀이 삼성미래기술육성센터가 주관하는 「삼성미래기술육성사업」에 선정됐다고 21일(수) 밝혔다. 이번 선정으로 연구팀은 3년 동안 약 12억 원을 지원받아 <초고PPI 디스플레이향 트랜지스터 소자의 In-line 모니터링을 위한 결함 이미징 기술 개발에 관한 연구>를 진행한다.

 

이번 연구는 반도체 소자의 구조와 물질에 상관없이 결함을 비파괴적/비접촉식 광학적 방법으로 분석하고자 한다. 이는, 실제 소자 array에서 전기적 특성에 영향을 미치는 결함을 이미징 할 수 있는 선도적이고 원천적인 기술이 될 것이다. 기존의 결함 측정 및 분석기술 대비 시간과 비용을 현저히 줄여 실제 생산 공정에서 In-line 모니터링을 가능케 하는 경제적 파급효과를 불러 올 것으로 기대를 모으고 있다. 

 

연구책임자인 정권범 교수는 “차세대 디스플레이 기술 개발을 위해 연구되는 박막 트랜지스터 소자 구조에서의 결함을 측정하는 것이 연구목표다. 실제 2차원 혹은 3차원 박막 트랜지스터 소자 구조에 대한 광학 신호의 변화를 측정한다. 이를 통해, 반도체 및 유전체 구조에서 박막과 계면의 정성적·정량적 결함의 분포와 결함 에너지 준위를 비파괴적·비접촉식으로 측정 및 분석하는 방법을 개발할 계획”이라고 설명했다.

 

정 교수는 이어 “고PPI 소자 array에 대한 대면적 측정을 위해 개발된 비파괴적·비접촉식 결함 측정 방법을 이미징 기술과 결합한다. deep learning 방법으로 측정 속도 및 정확도/분해능을 향상시키고 이를 In-line 모니터링에 적용해 전체 공정에 피드백을 제공, 스스로 공정상 문제점을 해결하는 스마트 팩토리를 구현하는 요소기술을 개발할 것”이라고 앞으로의 계획을 전했다. 

 

한편, 동국대는 충남대(김현석 교수)가 공동연구 기관으로 참여한다고 전했다.

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